CDG045Dhs CDG100Dhs
Guide d'information
Série StripeTM
Mesure de la pression sur 4 décades
A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour la CDG100Dhs
Rapide : temps de réponse < 2 ms
Applications :
- Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD
- Dépôts de couches atomiques
- Applications générales nécessitant le vide à haute température