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Creusets pour MBE
Guide d'information
L'épitaxie par faisceaux moléculaires (MBE) est une technique de dépôt de couches minces sous ultravide (UHV). La MBE est très largement considérée comme la forme de dépôt la plus contrôlable et la plus pure. Elle est actuellement utilisée à la fois en R&D et en production. La plupart des croissances MBE aboutissent à des films minces épitaxiaux de haute qualité.
Dans le cadre d'épitaxie par jet moléculaire, les sources solides de matériau de croissance de haute pureté (5N+) sont placées dans des creusets, généralement en nitrure de bore pyrolytique (PBN). …
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