Le moniteur SQM-160 utilise des sondes en cristal de quartz (INFICON Technology) pour mesurer la fréquence et l'épaisseur des dépôts de couches minces. 2 entrées standard de sonde et 4 aditionnelles en option. Taux analogues et des signaux d'épaisseur fournis par 2 sorties enregistreuses

Les entrées de sondes peuvent être assignées à différents matériaux, pour un suivi plus précis des dépôts. L'affichage des fréquences à 0.1Å/s ou 0.01Å/s est sélectionnable par l'utilisateur. Egalement, l'affichage de la masse ou de la fréquence peut-être sélectionnée. Quatre sorties relais permettre au moniteur SQM-160 de contrôler les obturateurs de sonde, de signaler la durée et l'épaisseur des consignes et les problèmes liés aux cristaux. Les entrées digitales du moniteur permettent d'envoyer des signaux externes à chaque début/fin et les lectures nulles.
 

Caractéristiques

• 2 canaux de mesure standard, 4 aditionnels en option
• Sortie analogique pour enregistrer l'épaisseur / la fréquence
• Haute résolution en option: 0.03Hz en 10 lectures/sec
• Standard RS-232, USB ou Ethernet en option

En savoir plus sur le principe de fonctionnement de la mesure d'épaisseur avec microbalances à quartz.