Les plaquettes chauffantes PBN PG : 

Les plaquettes chauffantes sont fabriquées à partir d'un élément résistif en Graphite Pyrolytique (PG), recouvert d'un isolant réfractaire, le Nitrure de Bore Pyrolytique (PBN).

Avantages

• compatible UHV
• très bonne homogénéité de température
• T° d'utilisation: >1500°C
• bonne stabilité mécanique
• résistant aux chocs thermiques
• densité de puissance : > 35 W/cm²
• chimiquement inerte à la plupart des gaz corrosifs

Applications

• PVD et PECVD
• Implantation ionique
• CVD et MOCVD
• PLD (Ablation laser)

Dimensions spécifiques sur demande.

Ci-dessus, la photo d'un four chauffant par l'intermédiaire d'une plaquette PBN.