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Eléments chauffants PBN PG

Guide d'information

 

Les plaquettes chauffantes sont fabriquées à partir d'un élément résistif en Graphite Pyrolytique (PG), recouvert d'un isolant réfractaire, le Nitrure de Bore Pyrolytique (PBN).

 

 

 

Avantages

  • compatible UHV
  • très bonne homogénéité de température
  • T° d'utilisation: >1500°C
  • bonne stabilité mécanique
  • résistant aux chocs thermiques
  • densité de puissance : > 35 W/cm2
  • chimiquement inerte à la plupart des gaz corrosifs

Applications

  • PVD et PECVD
  • Implantation ionique
  • CVD et MOCVD
  • PLD (Ablation laser)

Dimensions spécifiques sur demande.

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