CDG025D à 200D
Guide d'information
Série SKY, compensée en température
Mesure de la pression sur 4 décades
A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG025D à CDG100D
A partir de 1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG160D et CDG200D
Applications :
- Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD, ALD
- Process couches minces nécessitant une mesure de pression de haute précision
- Process sous vide en ambiance corrosive