Les canons à électrons rotatifs à creusets multiples de la série Research Capacity Rotary, d'une puissance de 3 kW, offrent une meilleure stabilité du faisceau et un balayage XY efficace avec une couverture complète du creuset. Le positionnement automatique est disponible avec l'auto-indexeur, vendu séparément.

Caractéristiques générales :

•     Véritable balayage XY avec couverture complète du creuset
•     Bobines de balayage incluses avec la source
•     Collimation améliorée du faisceau
•     Module émetteur enfichable
•     Refroidissement amélioré à haute stabilité
•     Protection contre la contamination croisée
•     Conception robuste
•     Indexeur automatique en option

Spécifications:

Le principe de fonctionnement du canon à creusets multiples est identique à celui de la source à creuset unique, avec les avantages suivants :

•     Grande quantité d'évaporant - Lorsque chaque creuset est rempli avec le même matériau source, un volume accru de matériau peut être évaporé sur un seul cycle de vide.
•     Dépôt jusqu'à huit matériaux différents en un seul cycle de vide - Un matériau différent peut être placé dans chaque creuset et déposé dans n'importe quel ordre au cours d'un seul cycle de vide. Les vitesses de dépôt sont les mêmes que celles du modèle à creuset unique. Un seul creuset est chauffé à la fois. Le filament unique reste stationnaire et c'est la tête de creuset qui se positionne. Par conséquent, l'évaporation se produit toujours à partir de la même position dans la chambre à vide. Les creusets inactifs sont protégés des creusets chauffés par les pièces polaires magnétiques, ce qui élimine la contamination entre les creusets.