Couches minces
Canon à électrons multi-creusets gamme High Capacity Rotary
Description
Les canons rotatifs à creusets multiples série High Capacity Rotary, d'une puissance de 10 kW sont disponibles dans des versions 3 à 8 creusets, permettant la dépôt séquentiel d'un maximum de 8 matériaux. Le montage standard se fait sur une bride CF de 12″ de diamètre extérieur et comprend un indexeur automatique et toutes les connexions mécaniques et électriques nécessaires.
Caractéristiques générales :
- 3 à 8 creusets disponibles
- Déviation du faisceau de 270°
- Creusets multiples, conception rotative
- Ensemble de creusets interchangeables
- Ensemble d'émetteurs à longue durée de vie
- Remplacement aisé du filament
- Positionnement du faisceau par aimant permanent
- Bobines de balayage intégrées
- Disponible avec entraînement par le bas ou par le côté
Spécifications:
Pression de fonctionnement Inférieure à 5 x 10-5 Torr pour un fonctionnement optimal Tension de faisceau -6 à -10 kV Courant de faisceau 0–1 A Puissance maximale 10 kW Refroidissement par eau 11,4 l/min Température max d'étuvage 120 °C Volume des creusets 7, 15, 25 or 40 cc- Nos standards
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Description
Les canons rotatifs à creusets multiples série High Capacity Rotary, d'une puissance de 10 kW sont disponibles dans des versions 3 à 8 creusets, permettant la dépôt séquentiel d'un maximum de 8 matériaux. Le montage standard se fait sur une bride CF de 12″ de diamètre extérieur et comprend un indexeur automatique et toutes les connexions mécaniques et électriques nécessaires.
Caractéristiques générales :
- 3 à 8 creusets disponibles
- Déviation du faisceau de 270°
- Creusets multiples, conception rotative
- Ensemble de creusets interchangeables
- Ensemble d'émetteurs à longue durée de vie
- Remplacement aisé du filament
- Positionnement du faisceau par aimant permanent
- Bobines de balayage intégrées
- Disponible avec entraînement par le bas ou par le côté
Spécifications:
Pression de fonctionnement | Inférieure à 5 x 10-5 Torr pour un fonctionnement optimal |
Tension de faisceau | -6 à -10 kV |
Courant de faisceau | 0–1 A |
Puissance maximale | 10 kW |
Refroidissement par eau | 11,4 l/min |
Température max d'étuvage | 120 °C |
Volume des creusets | 7, 15, 25 or 40 cc |
Téléchargements
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composants mécaniques