Protection des pompes contre les dommages prématurés

Dans les applications de vide poussé pour la production de systèmes de couches complexes, on utilise souvent des gaz ou des mélanges de gaz critiques. En fonction du processus, il peut être nécessaire d'évacuer ces gaz à l'aide de la pompe à vide poussé. Dans de nombreux cas, il est inévitable que ces gaz ou vapeurs se condensent sous forme de particules solides dans la pompe, ce qui nuit considérablement au fonctionnement de la pompe ou, comme dans le cas des pompes turbomoléculaires, conduit même à leur destruction.

Le déflecteur de protection HSR condense ces gaz nocifs avant qu'ils ne pénètrent dans la pompe turbomoléculaire, la protégeant ainsi d'une altération de son fonctionnement, voire de sa destruction.

Fonction

• Protège la pompe turbomoléculaire contre les dépôts de vapeur
• Prolonge la durée de vie de la pompe turbomoléculaire en cas de dépôts métalliques.

Caractéristiques

• Optiquement dense
• Conductance maximale
• Extrêmement facile à entretenir
• La partie intérieure amovible permet un nettoyage facile
• Agents de refroidissement : eau, azote liquide, Polycold...
• En acier inoxydable
• Baffle en acier inoxydable ou en cuivre au choix
• Disponible du DN100 au DN320

Autres applications

• Utilisation comme pompe à vapeur d'eau supplémentaire en refroidissant avec de l'azote liquide, du Polycold...