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Magnétrons circulaires

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Couches minces

Magnetron circulaire

Description

Caractéristiques: 

  • Compatibilité avec la puissance : leurs têtes à faible impédance assurent la compatibilité avec la puissance RF, DC, DC moyenne fréquence, DC pulsé et micro-ondes.
  • Changement de cible rapide et facile
  • Faible pression, puissance élevée
  • Une meilleure utilisation des cibles
  • Gamme complète de tailles : de 1" à 16" de cible

 

Options:

  • Obturateur pneumatique manuel
  • Angle droit 
  • +/- 45° d'inclinaison
  • Balanced, unbalanced
  • Injection de gaz 
  • Cheminée
  • Réseau d'aimants à haute résistance
  • Champ magnétique variable in-situ

 

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  • Changement de cible rapide et facile
  • Faible pression, puissance élevée
  • Une meilleure utilisation des cibles
  • Gamme complète de tailles : de 1" à 16" de cible

 

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  • Obturateur pneumatique manuel
  • Angle droit 
  • +/- 45° d'inclinaison
  • Balanced, unbalanced
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  • Cheminée
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  • Champ magnétique variable in-situ

 

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