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Cibles de pulvérisation
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Neyco fournit différents types de cibles de sputtering pour la pulvérisation cathodique:
- Cibles métalliques pures ou alliées (binaires/ternaires/quaternaires/+), de 99% à 99.999 %.
- Cibles pressées à chaud sans liant (Oxydes et intermétalliques) : Al2O3, AZO, ITO, PZT, SiO2, ZnO ...
- Cibles pour utilisation industrielle : Al, Ni/Cr, Mo, Ta, Ti/Al, W …
La plupart des cibles peuvent être réalisées en différentes tailles et formes telles que: circulaire, rectangulaire, Delta, forme d'anneau, tubulaire et autres formes à la demande…
Matériaux