Plasma Prep III : Mise en route et Maintenance

Vous trouverez ci-dessous nos vidéos tutoriels pour la mise en route et la maintenance de votre Plasma Prep III

Mise en route du Plasma Prep III

Retranscription de la vidéo : Mise en route Plasma Prep III :

Bienvenue sur le tutoriel de la mise en route du four à plasma, Plasma Prep III. Commencez par ouvrir votre bouteille de gaz. La pression de sortie doit être de l’ordre de 0.3 bar. Mettez en route votre pompe primaire fomblinisée et vérifiez le niveau d’huile. Introduisez votre échantillon dans la chambre en quartz interne. Ouvrez la porte du Plasma Prep III et introduisez la chambre interne dans la chambre externe. Maintenez avec un doigt la chambre interne. Mettez l’appareil sous tension à l’aide du bouton power. Lancez le pompage, bouton vacuum et retirez votre doigt. Refermez la porte du Plasma Prep III. Attendez que la pression se stabilise, généralement autour de 230 mTorr. Placez le potentiomètre « RF level » sur la position 9h. Lancez la RF, bouton "RF". A l’aide du réglage tunning, amorcez le plasma. A l’aide du poussoir rwd/fwd (reward, forward), sélectionnez l’affichage R, puis minimisez sa valeur grâce au bouton "TUNNING". Idéalement jusqu’à la valeur zéro de puissance réfléchie. Revenez à l’affichage F à l’aide du poussoir et réglez le niveau de puissance incidente souhaitée. Généralement autour de 70 watts. Le temps de process dépend de l’application. En fin de process, arrêtez la RF, bouton "RF", puis arrêtez le pompage, bouton "VACUUM". Effectuez la mise à l’air grâce à la touche "VENT". Attendez la remise à l’air complète avant de retirer la chambre interne. Généralement 1 à 2 minutes. Puis arrêtez la mise à l’air, touche "VENT". Et arrêtez l’équipement, touche "POWER". Pensez à couper votre pompe à palette et à fermer la bouteille de gaz. Merci d’avoir suivi ce tutoriel.

Maintenance du Plasma prep III

Retranscription de la vidéo : Maintenance Plasma Prep III :

Bienvenue sur le tutoriel de maintenance du four à plasma Plasma Prep III. Pour changer la chambre principale vous devez : vous assurer que la pompe primaire est à l’arrêt et avoir fermé l’arrivée de gaz. Retirez la chambre interne si cela n’est pas déjà fait. Débranchez le câble secteur du Plasma Prep III. Commencez par retirer les 4 vis du capot supérieur – 2 à droite, 2 à gauche. Retirez le capot supérieur. Ouvrez la porte frontale. Désserrez de 3 à 4 tours les 2 vis nylon côté radiateur et carte électronique (ne pas les retirer complètement). Dévissez complètement les 2 vis nylon côté externe. Attention à retirer également les 2 entretoises. Dévissez le raccord en laiton sur la partie avant du Plasma Prep III. Soulevez délicatement et verticalement la chambre. Retirez le tube arrière d’introduction de gaz de l’embout cannelé. Retirez l’enceinte par l’avant. Le raccord laiton de pompage est composé de 3 pièces. Faites bien attention au sens et à l’ordre de montage : Joint, bague et écrou. Réintroduisez la nouvelle chambre en commençant par le raccord cannelé. Puis introduisez le tube avant dans le raccord laiton de pompage et resserrez le tout. Remettez les entretoises et les vis, et revissez les 4 vis en nylon. Merci d’avoir suivi ce tutoriel.