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Cibles de pulvérisation

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Guide d'information

Neyco fournit différents types de cibles de sputtering pour la pulvérisation cathodique

  • Cibles métalliques pures ou alliées (binaires/ternaires/quaternaires/+), de 99% à 99.999 %.
  • Cibles pressées à chaud sans liant (Oxydes et intermétalliques) : Al2O3, AZO, ITO, PZT, SiO2, ZnO ...
  • Cibles pour utilisation industrielle : Al, Ni/Cr, Mo, Ta, Ti/Al, W …

La plupart des cibles peuvent être réalisées en différentes tailles et formes telles que: circulaire, rectangulaire, Delta, forme d'anneau, tubulaire et autres formes à la demande.

Il existe quelques limites en dimensions, en particulier pour les cibles mono-section.Elles peuvent être proposées en multi-sections pour de grandes dimensions, en bout à bout ou avec un angle.

Toutes les cibles sont livrées avec certificat d'analyse.

Les matériaux sont contrôlés avant expédition à l'aide d'un analyseur à fluorescence X. Certificat sur demande. 

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Matériaux

Cibles base Ruthénium, Ru