Eléments chauffants PBN/PG

Les plaquettes chauffantes sont fabriquées à partir d'un élément résistif en Graphite pyrolytique, recouvert d'un isolant réfractaire, le Nitrure de Bore pyrolytique.

Avantages

  • compatible UHV
  • très bonne homogénéité de température
  • jusqu'à 1500°C
  • bonne stabilité mécanique
  • résistant aux chocs thermiques
  • densité de puissance : jusqu'à 45 W/cm2
  • chimiquement inerte à la plupart des gaz corrosifs

Applications

  • PVD et PECVD
  • Implantation ionique
  • CVD et MOCVD
  • PLD

Dimensions spécifiques sur demande.

Plaquette Chauffante PNB /PG

Plaquette Chauffante PNB /PG
P/N Ø chauffant inch (mm) Résistance (Ohm) V A W Quantité
PCPBNC10 1.00 (25.4) 10-16 40 8 300 Ajouter
PCPBNC15 1.50 (38.1) 10-16 70 10 700 Ajouter
PCPBNC20 2.00 (50.8) 15-25 110 15 1300 Ajouter
PCPBNC25 2.50 (63.5) 22-35 180 15 2000 Ajouter
PCPBNC30 3.00 (76.2) 22-35 208 20 3000 Ajouter

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Plaquette PBN/PG avec pattes de fixation

Plaquette PBN/PG avec pattes de fixation
P/N Ø inch (mm) Résistance (Ohm) V A W Quantité
PCPBNP05 0.50 (12.7) 5-7 15 8 80 Ajouter
PCPBNP07 0.75 (19.0) 9-15 30 8 150 Ajouter
PCPBNP10 1.00 (25.4) 9-15 40 10 300 Ajouter
PCPBNP17 1.75 (44.5) 17-30 110 12 1000 Ajouter
PCPBNP20 2.00 (50.8) 15-25 110 15 1300 Ajouter

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Plaquette PBN rectangle

Plaquette PBN rectangle
P/N Ø chauffant inch (mm) Résistance (Ohm) V A W Quantité
PCPBNR10 0.98 (25.0) 7-10 35 8 max 220 Ajouter
PCPBNR20 1.97 (50.0) 11-15 110 16 max 1440 Ajouter
PCPBNR30 2.95 (75.0) 16-22 170 17 max 2300 Ajouter

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