Guide d'information

Contrôleur de dépôt de couches minces pour des procédés mono-couche ou multi-couches. 

Grâce au contrôleur de dépôt de couches minces XTC/3 , vous obtenez un contrôle précis de la vitesse de dépôt et de son épaisseur ainsi que la posibilité de voir virtuellement le nombre de couches.

Caractéristiques

  • Modèles disponibles pour mono-couche ou multi-couches 
  • Compatible INFICON Crystal 12®, Crystal Six®, et les sondes dual sensor.
  • Le modèle multi-couche XTC/3M supporte jusqu'à 99 process, 999 couches, 32 matériaux, 2 sondes et 2 sources
  • Le modèle mono-couche XTC/3S supporte jusqu'à 9 épaisseurs, 2 sondes et 2 sources.
  • Connection ethernet possible
  • Entièrement automatique (pas d'ordinateur nécessaire) ou logiciel optionnel Windows® 
  • Remplacement plug-and-play pour les contrôleurs INFICON XTC/2 (limité aux jeux de commande XTC/2)

En savoir plus sur le principe de fonctionnement des microbalances à quartz.

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