Ar GCIS

Source d’ions à clusters d’Argon

Source d’ions à clusters d’Argon

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Les avancées récentes en mesures de profils de profondeurs des matériaux organiques sont basées sur l’utilisation de gros clusters d’ions. C’est ce qui a conduit KRATOS Analytical à développer un nouveau canon à ions qui préserve la chimie et l’arrangement de vos matériaux : le Ar GCIS (Ar Gas Cluster Ion Source).

  • Idéal pour profils de profondeurs des matériaux organiques
  • Conservation de l’état chimique et des interfaces
  • Gamme d’énergie des clusters: 0.2-20 keV
  • Taille des clusters ajustable de Ar250+ à Ar2000+
  • Contrôle total par le logiciel ESCApe : pression de gaz, vannes, paramètres…
  • Utilisable avec l’Axis Supra et Nova
  • Monté sur bride DN64 (Diam. Ext. 4.5’’)
  • Pompage différentiel par 2 pompes turbomoléculaires
  • Peut être utilisé en He+
  • Performant pour le nettoyage des surfaces et l’amélioration de l’imagerie

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