Guide technique des couches minces

Guide technique des couches minces

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nous vous proposons, dans le fichier pdf disponible ci-dessous, un tableau rassemblant par matériau à déposer :

  • les différentes techniques de dépôts possibles
  • leurs pressions de vapeur
  • les matériaux conseillés pour les liners et sources d'évaporation

ainsi que d'autres informations utiles pour les dépôts de couches minces, que ce soit par évaporation (canon, effet Joule) ou par sputtering (pulvérisation cathodique).

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